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尼康开发出了2款支持第4代玻璃底板（尺寸为730mm×920mm）的中小尺寸液晶面板用曝光装置。其中包括生产率比原机型提高10％的“FX-803M”以及分辨率增至1．5ktm的“FX-903M”，能支持手机及车载用小尺寸液晶面板的高精细化和高性能化的产品。计划4月开始受理订单。
尼康开发出支持第4代玻璃底板的液晶面板
【摘 要】
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尼康开发出了2款支持第4代玻璃底板（尺寸为730mm×920mm）的中小尺寸液晶面板用曝光装置。其中包括生产率比原机型提高10％的“FX-803M”以及分辨率增至1．5ktm的“FX-903M”，能
【出 处】
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光电技术
【发表日期】
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2007年4期
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