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利用电磁继电器原理,对JGP500A型超高真空多靶磁控溅射仪进行了改进,从而显著地提高了效率,节约了大量的人力、物力.本文对溅射仪的构造及改进进行了论述.
磁控溅射实验仪器的改进
【摘 要】
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利用电磁继电器原理,对JGP500A型超高真空多靶磁控溅射仪进行了改进,从而显著地提高了效率,节约了大量的人力、物力.本文对溅射仪的构造及改进进行了论述.
【机 构】
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昆明医学院,云南省农业技术学院
【出 处】
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实验科学与技术
【发表日期】
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2005年3期
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