MEMS微针制备及其应用研究的进展

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微电子机械系统(MEMS)微针是目前的一个研究热点,在生物医学上有着广泛的应用。该文介绍了一些新的微针制备方法,对它们的优缺点进行了分析。另外,综述了微针应用研究的最新进展,指出了其面临的挑战和未来的发展趋势。
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