低气压下工频放电等离子体发展特性研究

来源 :真空科学与技术学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zshuangjiamin
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为研究低气压下棒-板长间隙工频放电等离子体通道发展过程及外部特征,本研究提出利用自行研制的以聚丙烯为主体的低气压放电腔进行工频放电试验,并分析了800 mm棒-板间隙在100 Pa,200 Pa,500 Pa,1 kPa,2 kPa,4 kPa六个气压值下的等离子体通道发展过程及其外部特征.研究结果表明:电子自由行程变化对棒-板电极工频放电等离子体通道发展过程及外部特征影响显著.在100 Pa ~4 kPa气压范围内随气压升高,击穿前板电极起始等离子体通道占放电间隙比例先升后降,击穿后持续等离子体通道外形变化经历“条纹状-间断状-连续状”三个阶段.研究结果为低气压下等离子体机理研究以及低气压下长间隙工频放电实验提供参考.
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