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期刊论文
微加工气敏元件的结构设计与模拟分析
微加工气敏元件的结构设计与模拟分析
来源 :机械与电子 | 被引量 : 0次 | 上传用户:fenligood
【摘 要】
:
提出了一种基于MEMS工艺的薄膜型气敏元件结构,对其工艺进行了阐述。该气敏元件结构主要包括5层。采用ANSYS对气敏元件结构进行热模拟分析,得到了该结构的温度场和中心点响应的
【作 者】
:
王景道
张鸿海
刘胜
任继文
【机 构】
:
华中科技大学,韦恩州立大学
【出 处】
:
机械与电子
【发表日期】
:
2006年8期
【关键词】
:
气敏元件
有限元分析
MEMS工艺
薄膜
半导体
gas sensor finite element analysis (FEA) MEMS technolog
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提出了一种基于MEMS工艺的薄膜型气敏元件结构,对其工艺进行了阐述。该气敏元件结构主要包括5层。采用ANSYS对气敏元件结构进行热模拟分析,得到了该结构的温度场和中心点响应的较优结果:响应时间3s,达到稳态时间28s,薄膜中心点稳态温度359.013℃。
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