【摘 要】
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分析了旋转臂式结构的下压力特点,指出其采用最直接的杠杆原理,是第一代CMP机型IPEC372M的典型结构,适用于0.8μm的技术节点,并指出其局限性;后分析了桥式下压力结构,加了垂
【机 构】
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中国电子科技集团公司第四十五研究所
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分析了旋转臂式结构的下压力特点,指出其采用最直接的杠杆原理,是第一代CMP机型IPEC372M的典型结构,适用于0.8μm的技术节点,并指出其局限性;后分析了桥式下压力结构,加了垂直于抛光台的主轴套及铰链结构,这种改善性的杠杆原理保证气缸施加下压力的有效性;研究了中国电子科技集团公司第四十五研究所特有专利技术的转塔式结构采用的浮动悬挂模块,能够实现完全下压力的垂直性,同时具备维持压力的恒定性和微压力的灵敏性;然后分析应用材料的旋转木马形式结构,并研究了其结构的特色能够实现抛光头的垂直下降,而且薄膜的压力完
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