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射频放电阻抗测量用于等离子体诊断研究

来源 :物理学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：lt96047

【作 者】

：

黄建军  余建华 

【出 处】

：

物理学报

【发表日期】

：

2001年12期

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