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综述了真空校准系统,对其设计方法提出了一些要求。并详细分析了常用真空计在校准中的注意事项。
真空校准系统及真空计的校准
【摘 要】
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综述了真空校准系统,对其设计方法提出了一些要求。并详细分析了常用真空计在校准中的注意事项。
【机 构】
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中国工程物理研究院电子工程研究所
【出 处】
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计量与测试技术
【发表日期】
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2007年10期
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