【摘 要】
：
冷压印光刻工艺是一种将模板图形翻制到硅片上的技术.为了获得高分辨率压印图形,为压印光刻机设计了一个精密定位工作台.精密定位工作台是压印光刻机的关键部件,它既能够保证
论文部分内容阅读
冷压印光刻工艺是一种将模板图形翻制到硅片上的技术.为了获得高分辨率压印图形,为压印光刻机设计了一个精密定位工作台.精密定位工作台是压印光刻机的关键部件,它既能够保证模板－抗蚀剂－硅片结构间的接触均匀一致,并实现模板与承片台间的三个运动自由度,即沿z轴的直线运动和绕x、y轴的旋转运动(α和β),又可以实现步进对准所需要的沿x、y轴的直线运动和绕z轴的旋转运动(θ).设计中采用了柔性机械结构,消除了使用铰链连接所引起的间隙与摩擦等问题.压印实验结果显示定位系统在200mm的行程中,精密定位工作台定位精度达到8
其他文献
目的:探讨黄芪甲苷对糖尿病肾病(diabetic nephropathy,DN)大鼠足细胞裂孔膈膜的保护作用及其可能机制。方法:利用腹腔注射链脲佐菌素(streptozotocin,STZ)建立糖尿病大鼠模
11月24日，市人大常委会主任会议成员按照市人大常委会党组和机关学习实践活动领导小组的安排，在深入学习的基础上，结合查找的问题，对这一阶段的调研成果进行总结交流。市人大常委
看到这个题目,大多数维修人员可能都有同感。一辆正在行驶的摩托车,起动加速均正常,但在骑行途中突然听见“咔”的一声,发动机自动熄火,摩托车停止运行,再也无法起动。还有的
目的:探讨益心安神汤对睡眠及睡眠时相的影响。方法:通过小鼠翻正实验及大鼠脑电波分析方法,分别记录小鼠睡眠潜伏期、持续时间及大鼠睡眠时相的觉醒期(the waking phase of
研究了虚拟制造的体系结构和虚拟设计的模型问题,提出了层次化建模思想及元模型、机构模型、产品模型的概念,将整个虚拟设计模型分为元模型、机构模型和产品模型,建立了三个
“双语”教学在我国主要包括两个方面，一是对母语非汉语的少数民族使用汉语和少数民族语言教授知识，两种语言的运用比例根据学生的汉语水平来合理分配。这种情况主要出现在少数
提出了一种面向虚拟装配的碰撞检测方法,其方法在传统基于包围盒层次的碰撞检测基础上,引入了多感知机制和组件技术.通过对虚拟场景中不同的装配情景和装配阶段进行分析,采用
目的：探讨住院精神病患者意外事件产生的原因及防范措施。方法：回顾性分析2010年6月-2012年3月我院收治的108例精神病患者采取的防止意外事件产生及护理管理措施。常见的事件有
根据原子力显微镜(AFM)图像的特点,对小波变换应用于原子力显微镜图像的降噪、增强及融合方法进行了阐述,采用原子力显微镜对无磨料低温抛光后的铝合金(LY12)表面进行检测,并
采用微机电系统(MEMS)技术制备出电化学微型电极芯片,并运用自组装技术修饰微型电极表面用于抗体的固定化,研制出新型的电化学微型免疫微传感器.采用MEMS技术,在硅片上制备了分别以Au、Pt、Pt为电极材料的工作电极、对电极以及准参比电极的微型三电极系统.采用自组装技术,以"Au-巯基乙胺-A蛋白"作为抗体的定向固定程序.与在平面裸电极Au表面上固定生物分子的传统方法相比,基于自组装技术的巯基乙胺