【摘 要】
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该文采用HF和HNO3为腐蚀液,在不同温度、添加剂和超声振荡3种情况下来进行多晶硅酸腐蚀表面织构实验研究,发现:通过超声振荡,在单位面积上腐蚀坑密度较大.在1min、HF:HNO3=12
【基金项目】
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国家"863"资助项目(2001AA513040)
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该文采用HF和HNO3为腐蚀液,在不同温度、添加剂和超声振荡3种情况下来进行多晶硅酸腐蚀表面织构实验研究,发现:通过超声振荡,在单位面积上腐蚀坑密度较大.在1min、HF:HNO3=12:1的腐蚀条件下,25℃时加Br2添加剂用超声震荡的方式得到较好的腐蚀效果.腐蚀坑的分布比较均匀,单位面积腐蚀坑较多,而且呈收缩型,这将有利于入射光的多次反射,获得较好的表面减反射效果.
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