新型AgInSbTe相变薄膜的结晶活化能研究

来源 :无机材料学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：jjpabc123

【摘要】

：

利用磁控溅射法制备了新型AgInSbTe相变薄膜,热处理前后的X射线衍射(XRD)表明了薄膜在热作用下从非晶态转变到晶态.通过非晶态薄膜粉末的示差扫描量热(DSC)实验测定了不同升

【作者】

：

张广军顾冬红李青会干福熹刘音诗

【机构】

：

中国科学院上海光学精密机械研究所,成都先锋材料有限公司

【出处】

：

无机材料学报

【发表日期】

：

2005年1期

【关键词】

：

新型AgInSbTe相变薄膜结晶动力学 XRD DSC new type AgInSbtTe phase change films crystallizat

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利用磁控溅射法制备了新型AgInSbTe相变薄膜,热处理前后的X射线衍射(XRD)表明了薄膜在热作用下从非晶态转变到晶态.通过非晶态薄膜粉末的示差扫描量热(DSC)实验测定了不同升温速率条件下的结晶峰温度,计算了粉末的摩尔结晶活化能、原子激活能和频率因子.从结晶活化能E可以判断出新型AgInSbTe相变薄膜具有较高的结晶速度,可以用于高速可擦重写相变光盘.

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