纳米氧化锡修饰的微催化燃烧式氢气传感器的研制

来源 :化学学报 | 被引量 : 6次 | 上传用户：hbb88191312

【摘要】

：

研制了一种基于多孔纳米氧化锡(SnO2)催化剂的微催化燃烧式气体传感芯片(Pellistor).基于微机电系统(Micro-Electro-Mechanical Systems,MEMS)工艺制备硅基封闭膜式微催化燃烧式传感器,通过气相沉积技术在Pt微加热电极和高温绝缘层表面制备三维纳米氧化锡催化膜,利用催化膜对氢气良好的催化特性,采用惠斯通电桥电路进行测量,实现对空气环境中氢气在0～4%浓度范围

【作者】

：

刘西锋董汉鹏夏善红

【机构】

：

中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室,中国科学院大学,

【出处】

：

化学学报

【发表日期】

：

2013年04期

【关键词】

：

纳米氧化锡催化燃烧传感器微机电系统(MEMS) 氢气检测

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