【摘 要】
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采用Ti40Al20Si10、Ti48Al50Ag2和Ti-MoS2靶,制备了TiAlSiN/TiAlAgN/Ti(Mo)N-MoS2多层涂层。通过扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)、显微硬度计、球-盘式摩擦磨损试验
【基金项目】
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国家自然科学基金(51365041)
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采用Ti40Al20Si10、Ti48Al50Ag2和Ti-MoS2靶,制备了TiAlSiN/TiAlAgN/Ti(Mo)N-MoS2多层涂层。通过扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)、显微硬度计、球-盘式摩擦磨损试验机以及表面轮廓仪研究了涂层的表面形貌、微观结构、硬度和摩擦学性能。结果表明:制备的多层涂层中含0.62%(原子分数,下同)Mo,0.77%Ag和30.05%Ti,厚度约为3μm,硬度为21.09GPa。涂层在不同温度条件下的磨损机制主要为黏着磨损,室温条件下参与润滑的物质为Si2
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