基于模糊预测的MOCVD温度控制方法

来源 :西安电子科技大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：libin101

【摘要】

：

为解决金属有机化合物化学气相淀积（MOCVD）设备温度控制的非线性、时变性以及大滞后等问题，给出了一种用模糊控制和预测控制相结合的复台控制方法．该模糊预测控制在模糊控制的基

【作者】

：

过润秋赵恒杜凯

【机构】

：

西安电子科技大学机电工程学院

【出处】

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西安电子科技大学学报

【发表日期】

：

2006年2期

【关键词】

：

金属有机化合物化学气相淀积模糊预测控制温度控制控制算法

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为解决金属有机化合物化学气相淀积（MOCVD）设备温度控制的非线性、时变性以及大滞后等问题，给出了一种用模糊控制和预测控制相结合的复台控制方法．该模糊预测控制在模糊控制的基础上加入预测环节，通过增加相位超前减少时间滞后所带来的影响，准确预测温度变化趋势．与传统的控制方法相比较，具有算法简单，鲁棒性好的特点．仿真和试验表明，该方法有着较高的稳态精度和动态特性，在整个温度控制范围基本误差可达到1℃‰，有效改善了MOCVD系统温度的控制性能，对实际温度控制具有较好的指导意义．

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