论文部分内容阅读
使用２６６ｎｍＮｄ－ＹＡＧ激光（脉宽为４ｎｓ，能量密度２Ｊ／ｃｍ＾２），以钛合金作衬底，在温度为４００～４５０℃条件下，分别选择真空、Ａｒ、Ｏ２、Ｈ２Ｏ气为沉积环境进行ＨＡＰ薄膜的制备，并通过红外光谱、Ｒａｍａｎ光谱、原子力显微镜对所获得的ＨＡＰ薄膜进行表征。测量分析表明：在该温度下，我们用脉冲激光法沉积出的ＨＡＰ薄膜均匀性良好，表面无剥蚀和层为断，薄膜呈非晶态和结晶态的混合物；水蒸汽的存在对ＨＡ