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采用射频反应磁控溅射方法制备掺杂多壁碳纳米管（MWCNTs）的SnO2薄膜材料，并在此基础之上制作了NO2气敏传感器，使用扫描电子显微镜（SEM）和X射线衍射仪（XRD）研究了SnO2／MWCNTs薄膜材料的表面形貌、物质组份等材料特性，采用气敏元件测试系统来分析传感器的气敏效应，包括灵敏度、选择性、响应一恢复等特性，实验结果表明该气敏传感器对超低浓度（10ppb）NO2气体有很好的灵敏度，对干扰气体不敏感，提出了气敏机理解释实验现象。