溶胶-凝胶法制备SiO2材料及其微波介电性能研究

来源 :电子元件与材料 | 被引量 : 0次 | 上传用户:rgy1983
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采用溶胶-凝胶法制备了非晶SiO2粉体,并研究了不同溶液配比对所得粉体粒度和分散性的影响.结果表明:当H2O和TEOS摩尔比为20:1和40:1时,可以制备出分散性较好的非晶SiO2粉体,其粒度分别为700 nm和 120 nm.在此基础上,研究了不同原料粉体对 SiO2材料烧结特性和微波介电性能的影响规律.研究发现:粉体粒度较小,有利于降低SiO2材料的烧结温度,提高其相对密度,抑制其析晶现象.当烧结温度为1050-1200 ℃时,SiO2材料的相对介电常数为2.50-3.75,Q·f值为98
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