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介绍PSD激光测微仪的结构及特点。根据输入输出参数方程及误差测量结果进行数据处理和误差分离,确定了仪器的系统误差和随机误差。这一工作为系统误差补偿和提高仪器测量精度提供了依据。
PSD激光测微仪的研制与精度分析
【摘 要】
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介绍PSD激光测微仪的结构及特点。根据输入输出参数方程及误差测量结果进行数据处理和误差分离,确定了仪器的系统误差和随机误差。这一工作为系统误差补偿和提高仪器测量精度
【机 构】
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中国科学技术大学精密机械与仪器系,中国科学技术大学精密机械与仪器系
【出 处】
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中国科学技术大学学报
【发表日期】
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1992年3期
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