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硫化锌（ZnS）作为红外探测器窗口广泛地应用于红外技术中,为了提高ZnS在7～12μm使用波段的光学透过率和机械强度,选择YF3和YbF3两种红外低折射率膜料分别与ZnS进行匹配,设计并在离子源的辅助下制备出了两种该波段的红外减反膜,并进行了性能的对比。结果显示两种膜系在要求范围内都达到了平均90%的光学透过率,但是YF3-ZnS减反膜的机械强度相比YbF3-ZnS减反膜较差。