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本文主要介绍工业应用对于放电泵浦的KrF、XeCl、ArF准分子激光器的一般要求,以及对于极端高重复频率、高平均功率准分子激光器要解决的关键技术问题与国际研究进展.并简要介绍电子束泵浦的重复频率高能、高功率准分子激光器研究进展.
工业应用放电泵浦准分子激光器研究进展
【摘 要】
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本文主要介绍工业应用对于放电泵浦的KrF、XeCl、ArF准分子激光器的一般要求,以及对于极端高重复频率、高平均功率准分子激光器要解决的关键技术问题与国际研究进展.并简要介
【机 构】
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中国科学院电子学研究所北京2702-45信箱
【出 处】
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激光杂志
【发表日期】
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2004年4期
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