论文部分内容阅读
薄膜制备工艺的发展使铁电薄膜很好的应用于MEMS,使两者集成成为可能.本文将详细论述铁电薄膜的优良性能,及其与MEMS集成的关键工艺-图形化.最后,举例论述了PZT铁电薄膜在MEMS中的应用.
应用于MEMS的PZT铁电薄膜
【摘 要】
：
薄膜制备工艺的发展使铁电薄膜很好的应用于MEMS,使两者集成成为可能.本文将详细论述铁电薄膜的优良性能,及其与MEMS集成的关键工艺-图形化.最后,举例论述了PZT铁电薄膜在MEM
【机 构】
：
天津大学电子信息工程学院
【出 处】
：
无机材料学报
【发表日期】
：
2005年1期
其他文献
在可再生能源发电和电动汽车技术领域,发展能量密度高、安全可靠、绿色无污染的锌空气电池具有重要社会经济价值。但锌空气电池负极存在的问题严重影响了电池的使用性。本文
<正>2003年6月-2008年6月,笔者运用补阳还五汤加味治疗顽固性头痛48例,并与以维脑路通注射液治疗的45例做对比观察,现报道如下。1临床资料全部病例来源于本院门诊和住院患者,
季度用电量同时具有增长性和季节波动性的二重趋势,这使得季度用电量的变化呈现出复杂的非线性组合特征。对于这种具有复杂的非线性组合特征的时间序列,直接应用GM(1,1)灰色
违反完整性约束的数据叫不一致数据。虽然完整性约束被用于防止不一致已经很长时间了,但由于各类原因,不一致数据仍然普遍存在于多类现实应用中。这些应用不单单包括数据整合
以高岭土、石英、钠长石、石灰石、氧化锌等矿物为原料,Zn O为晶核剂,并掺杂Co2+控温烧结Zn2Si O4结晶釉。利用X射线衍射仪(XRD)分析样品物相,白度色差计测量釉料色度(L*、a*
为适应我国交流特高压输电工程建设的需要,研究影响线路安全运行和造价的空气间隙取值,具有重要意义。采用基于我国超高压电网运行经验证实科学合理的绝缘配合原则与方法,研
开发了一种使用中国传统榫卯结构支护混凝土的新型木模板,主要应用于高校结构实验室中制作混凝土构件。通过设计图纸制作木模板并支护了6个混凝土模型梁测得了支模时模板的挠
采用溶剂热法制备了一系列花状BiOBrxI1-x复合微球。利用X射线粉末衍射(XRD)、热重(TG)、扫描电镜(SEM)、氮气物理吸附、傅里叶变换红外光谱(FT-IR)和紫外-可见(UV-Vis)漫反
目的:观察二氧化碳(CO2)气腹对血流动力学及心电图的影响。方法:择期行腹腔镜腹部手术患者40例,分A组20例;B组20例。气腹(时间>3h)后A组用硝酸甘油、硫酸镁、美托洛尔控制血