【摘 要】
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采用直流磁控溅射技术在PET非织布表面沉积Ag膜,利用正交试验法分析磁控溅射工艺参数对其电磁屏蔽效能(SE)的影响,结果表明磁控溅射工艺参数对电磁屏蔽效能的影响次序为溅射
【机 构】
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江南大学生态纺织教育部重点实验室,安徽工程大学纺织面料安徽省高校重点实验室
【基金项目】
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安徽高校自然科学研究重点资助项目(KJ2017A109),安徽省高等教育提升计划自然科学研究资助项目(TSKJ2015B28)
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采用直流磁控溅射技术在PET非织布表面沉积Ag膜,利用正交试验法分析磁控溅射工艺参数对其电磁屏蔽效能(SE)的影响,结果表明磁控溅射工艺参数对电磁屏蔽效能的影响次序为溅射功率、溅射时间、溅射压强;最佳工艺参数分别为:30W、15min、0.5Pa,在30M~1.5GHz频率范围内,其屏蔽效能均值达到39.37dB。进一步采用多种表征手段分析其物理结构特征及表面状态,结果显示Ag在PET纤维表面成膜致密,分布均匀,结晶性能良好,且以单质银的形态存在。
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