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GaN薄膜低温外延的ECR-PAMOCVD技术
GaN薄膜低温外延的ECR-PAMOCVD技术
来源 :半导体技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:xinran200391127
【摘 要】
:
给出了用电子回旋共振微波等离了体辅助金属有机化学汽相沉积(ECRPAMOCVD)技术和在低温、极低气压下生长GaN外延膜的装置、工艺及实验结果。并与以往的GaN外延技术进行了比较,说明了这种新的低温
【作 者】
:
徐茵
顾彪
秦福文
从吉远
杨树人
【机 构】
:
大连理工大学电磁工程系,吉林大学电子工程系
【出 处】
:
半导体技术
【发表日期】
:
1998年1期
【关键词】
:
氮化镓
MOCVD
等离子体
低温外延
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给出了用电子回旋共振微波等离了体辅助金属有机化学汽相沉积(ECRPAMOCVD)技术和在低温、极低气压下生长GaN外延膜的装置、工艺及实验结果。并与以往的GaN外延技术进行了比较,说明了这种新的低温外延技术的独特优点。
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