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分析研究了多弧离子镀膜机буиат－６ 的主要性能。在不同工艺参数条件下，于高速钢基体上制备了Ｔｉ膜和ＴｉＮ膜、用扫描电镜观察了Ｔｉ膜上小液滴颗粒成份进行测试分析；用超微负荷硬度；用表面刻划仪测试了ＴｉＮ膜与基体的附着力。
多弧离子镀膜机（буиат—6）性能分析和工艺参数研究
【摘 要】
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分析研究了多弧离子镀膜机буиат－６ 的主要性能。在不同工艺参数条件下，于高速钢基体上制备了Ｔｉ膜和ＴｉＮ膜、用扫描电镜观察了Ｔｉ膜上小液滴颗粒成份进行测试分析；用超微负荷硬度；用表
【机 构】
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广东工业大学材料科学与工程系
【出 处】
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广东机械学院学报
【发表日期】
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1997年2期
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