等离子体源离子注入表面改性研究及应用

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采用等离子体源离子注入技术 (PSII)对W18Cr4V高速钢进行了氮离子注入。用俄歇能谱仪对注入层的成分进行了分析。对注入层的显微硬度和耐磨性进行了测试。用扫描电镜对摩擦磨损表面进行了分析。研究结果表明 :氮在注入层呈高斯分布 ,注入层的硬度和耐磨性均明显提高。对等离子体源离子注入技术在航空液压泵配油盘上的应用进行了研究。应用研究结果表明 :经等离子体源离子注入后的配油盘单位行程内回油量的增加量比未注入前下降约 90 % ,从而明显地增加了配油盘的使用寿命 Nitrogen ion implantation was performed on W18Cr4V high-speed steel with plasma source ion implantation (PSII). The composition of the implanted layer was analyzed by Auger spectrometer. The microhardness and wear resistance of the implanted layer were tested. The surface of friction and wear was analyzed by scanning electron microscope. The results show that nitrogen has a Gaussian distribution in the implanted layer, and the hardness and wear resistance of the implanted layer are obviously improved. The application of plasma source ion implantation technology in the oil hydraulic pump oil pan was studied. The results of application research show that the increase of oil return amount per unit stroke of the oil distribution plate after ion source plasma injection reduces about 90% compared with that before the injection, which obviously increases the service life of the oil distribution plate
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