一种基于四象限探测器的深孔直线度测量方法的研究

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介绍了以半导体激光光束为测量基准,采用四象限探测器进行深孔直线度检测的原理和方法。重点针对实际激光器近似于椭圆形状的入射光斑,推导了输出电压与椭圆光斑中心的变化规律,分析了光斑椭圆度对测量误差的影响,论证了方案的可行性与可靠性。 The principle and method of detecting the straightness of deep-hole using four-quadrant detector are introduced based on the measurement of semiconductor laser beam. Focusing on the incident laser spot approximating the elliptical shape, the variation law of the output voltage and the center of the ellipse spot is deduced. The influence of the spot ellipticity on the measurement error is analyzed. The feasibility and reliability of the scheme are demonstrated.
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