Innovation on Line Cut Methods of Self-aligned Multiple Patterning

来源 :微电子制造学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:junpenge
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Self-aligned multiple patterning (SAMP) can enable the semiconductor scaling before EUV lithography becomes mature for industry use.Theoretically any small size of pitch can be achieved by repeating SADP on same wafer but with challenges of pitch walking
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