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基于等效媒质理论，用透反法确定了单靶溅射沉积的铝－氮复合膜的填充因子，并研究了不同填充因子复合膜以及由两层不同填充因子复合膜构成的干涉－吸收型选择性吸收涂层的热处理性能。
干涉—吸收型太阳光谱选择性吸收表面
【摘 要】
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基于等效媒质理论，用透反法确定了单靶溅射沉积的铝－氮复合膜的填充因子，并研究了不同填充因子复合膜以及由两层不同填充因子复合膜构成的干涉－吸收型选择性吸收涂层的热处理性能
【机 构】
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清华大学电子工程系
【出 处】
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真空科学与技术
【发表日期】
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1997年5期
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