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变形数据处理中,由于建模过程中存在各种近似,所建立的平差模型不可避免地存在模型误差。论述模型误差对参数估值的影响,提出利用半参数补偿最小二乘方法对模型误差进行求解,讨论正则矩阵R和平滑参数α的选取对变形预测结果的影响,通过实例将半参数模型与时间序列模型、灰色模型、小波灰色模型的结果进行比较。结果表明,半参数方法能有效地处理变形平差系统中存在的模型误差,具有较强的预测能力。