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在单晶硅Si(111)上,通过电子束蒸发沉积方法制备Au(111)取向膜,用扫描电子显微镜(SEM)、X-射线光电子能谱(XPS)和原子力显微镜(AFM)分析征Au(111)膜的表面微结构和表面晶格取向的原子图像。实验结果表明,在超高真空的条件下,控制优化实验条件能制备高度取向的Au(111)膜,这在分子自组装技术中起着关键作用,在纳米薄膜材料科学中具有重要意义。