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利用超声喷雾热解方法,用普通载玻片作为衬底,在400℃下制备了不同铝掺杂量的氧化锌(ZnO:AI或AZO)薄膜,在并对其光学及电学特性进行了研究。结果表明AZO薄膜光电特性受Al掺杂量的影响很大,Al掺杂量为4at％时AZO薄膜的表面缺陷少,可见光透过率达到84％,其表面电阻约为60Ω/口。