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在189，255，277和321℃的沉积温度下用热舟蒸发方法制备了LaF3薄膜。通过X射线衍射（XRD）测试了薄膜的晶体结构；采用分光光度计测量了薄膜的透射光谱，并计算得到样品的折射率、消光系数和截止波长；利用光学干涉仪测试得到了薄膜的残余应力；采用三倍频Nd2YAG脉冲激光测试了薄膜的激光损伤阈值。结果表明：随沉积温度的提高，LaFa薄膜的结晶状况明显变好，晶粒尺寸逐渐变大；膜层变得更加致密，折射率变大，然而薄膜吸收变得严重，截止波段向长波漂移，同时薄膜的残余应力也增加，内应力在薄膜的残余应力中起着决定