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利用脉冲激光沉积方法,不同沉积条件下在SiO2/Si、蓝宝石单晶和石英玻璃3种衬底上制备了c轴择优取向的Eu^3＋掺杂ZnO（Eu：ZnO）薄膜.以SiO2/Si为衬底,具体研究了衬底温度、氧压、激光重复频率及沉积时间对Eu：ZnO薄膜结晶质量和荧光性能的影响.发现沉积条件相同时,在蓝宝石和SiO2/Si衬底上制备的薄膜结晶质量好于石英玻璃衬底上的.利用273nm波长的氙灯泵浦,室温下所有样品的光致荧光谱中都测得了稀土Eu^3＋在616nm附近的特征发光峰,而且在蓝宝石衬底上生长的Eu：ZnO薄膜的荧光强