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以高纯乙硼烷（B2H6）为B源，采用化学气相沉积（CVD）方法在多晶Al2O3，衬底上沉积B薄膜，然后在Mg蒸气中异位退火来制备MgB2超导薄膜。通过X射线衍射和MgB2超导薄膜的电阻-温度曲线，研究了先驱硼薄膜的质量对MgB2超导薄膜的影响。
先驱硼薄膜的质量对MgB2超导薄膜的影响
【摘 要】
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以高纯乙硼烷（B2H6）为B源，采用化学气相沉积（CVD）方法在多晶Al2O3，衬底上沉积B薄膜，然后在Mg蒸气中异位退火来制备MgB2超导薄膜。通过X射线衍射和MgB2超导薄膜的电阻-温度曲线，研究了
【机 构】
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东营职业学院,中国石油大学物理科学与技术学院
【出 处】
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低温工程
【发表日期】
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2007年6期
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