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Parylene薄膜是电子产品包封和器件上不可缺少的组成部分，也是生物传感器上具有很好生物相容性的材料，还是投入应用的防护材料中最优秀的涂层材料之一。简要介绍了Parylene薄膜的优异性能，分析了其存在的主要问题，即表面化学惰性、粘接性能差，表面能有待进一步提高，指出表面改性是改善上述问题的有效途径；综述了国内外对Parylene薄膜表面改性研究的最新进展，并讨论了各改性方法的局限。