【摘 要】
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本文介绍一种小型激光干涉仪,这种干涉仪采用接触测量方法,体积小,使用方便。其电子线路采用三路差动方式,可消除采用光纤引起的干扰信号,该干涉仪的示值变化15小时内不超过0
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本文介绍一种小型激光干涉仪,这种干涉仪采用接触测量方法,体积小,使用方便。其电子线路采用三路差动方式,可消除采用光纤引起的干扰信号,该干涉仪的示值变化15小时内不超过0.1μm。
This article describes a small laser interferometer, this interferometer using contact measurement method, small size, easy to use. The electronic circuit using three-way differential mode, eliminating the use of fiber-induced interference signals, the interferometer changes in the value of not more than 15 hours within 0.1μm.
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