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基于调频连续波太赫兹技术,对高超音速飞行器的复合陶瓷隔热瓦开展了无损检测技术研究,分析了被测材料的太赫兹波光谱特性,设计了适用于太赫兹波无损检测的模拟缺陷试块,在试块的不同埋深处设置了裂纹类和孔洞类模拟缺陷,采用连续太赫兹波通过缺陷信号反射法和底面回波反射法实现了这两类缺陷的检测,通过实测试验给出了优化的检测工艺方案,最后通过扫描陶瓷隔热瓦结构内部的真实裂纹对检测工艺进行了验证。