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通过对感性可调MEMS电容性膜开关等效电路模型的电磁特性分析，建立了开关的“关”态谐振频率选择模型和“开”态阻抗匹配模型．从微波等效电路的角度提出高性能感性可调MEMS电容性膜开关的设计方法，同时给出了基于这两种模型设计X波段MEMS开关的“关”态隔离度与“开”态反射损耗的电路仿真结果，与高频电磁场全波仿真结果吻合较好，具有较高的实际应用价值。