干涉光谱仪中动镜的磁悬浮支撑磁力解耦方法研究

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干涉光谱仪通过动镜的不断运动可以改变光程差,并利用光程差实现定性与定量分析功能,故动镜运动的匀速性以及稳定性对光谱仪的精度和分辨率有着很大的影响。文章采用磁悬浮装置作为动镜的支撑系统,音圈电机作为动镜的驱动系统,并围绕控制动镜的两系统之间的耦合问题进行研究。文章设计了利用有限元软件ANSYS Maxwell对处在动镜系统中的磁场进行分析从而对支撑系统和驱动系统的电流进行解耦的方法,通过这种方法可以分别得到控制两个系统的电流。结果证明此方法得到的控制电流能够有效地控制动镜的运动情况,使动镜在运动过程中始终保
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