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本文介绍了准分子激光掺杂的基本原理及特点,概括总结了近年来所取得的典型研究结果,最后指出这项技术在集成电路中的应用。更多还原
准分子激光掺杂
【摘 要】
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本文介绍了准分子激光掺杂的基本原理及特点,概括总结了近年来所取得的典型研究结果,最后指出这项技术在集成电路中的应用。更多还原
【机 构】
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吉林大学电子科学系集成光电子学联合实验室,吉林大学电子科学系集成光电子学联合实验室130023,130023
【出 处】
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微细加工技术
【发表日期】
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1992年2期
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