【摘 要】
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研究了碳氢气体通过射频辉光放电沉积类金刚石碳膜。研究了射频电压和沉积时间对膜厚和维氏显微硬度的影响。此外,还进行了微动磨损试验。本实验所用的碳氢气体为C_2H_2,基体
【机 构】
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北京航空航天大学材料科学与工程系,北京航空航天大学材料科学与工程系,北京航空航天大学材料科学与工程系
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研究了碳氢气体通过射频辉光放电沉积类金刚石碳膜。研究了射频电压和沉积时间对膜厚和维氏显微硬度的影响。此外,还进行了微动磨损试验。本实验所用的碳氢气体为C_2H_2,基体材料为TC4钛合金(Ti-6%Al-4%V)和45钢(Fe-0.45%C)。
The carbon-based diamond films were deposited by RF glow discharge. The effects of RF voltage and deposition time on the film thickness and Vickers microhardness were studied. In addition, fretting wear tests were also performed. The hydrocarbon gas used in this experiment is C_2H_2. The base materials are TC4 titanium alloy (Ti-6% Al-4% V) and 45 steel (Fe-0.45% C).
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