【摘 要】
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一种nm级超精密镜面磨削的微进给工作台张飞虎,张春河,王平,韩荣久(哈尔滨工业大学)(中国科学院长春光学精密机械研究所)用超微细粒度的超硬磨料砂轮进行超精密镜面磨削加工,是对难以用
【机 构】
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哈尔滨工业大学,中国科学院长春光学精密机械研究所
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一种nm级超精密镜面磨削的微进给工作台张飞虎,张春河,王平,韩荣久(哈尔滨工业大学)(中国科学院长春光学精密机械研究所)用超微细粒度的超硬磨料砂轮进行超精密镜面磨削加工,是对难以用金刚石车刀进行超精密车削的材料如工程陶瓷、光学玻璃、半导体基片等进行超...
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