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一种ｎｍ级超精密镜面磨削的微进给工作台张飞虎，张春河，王平，韩荣久（哈尔滨工业大学）（中国科学院长春光学精密机械研究所）用超微细粒度的超硬磨料砂轮进行超精密镜面磨削加工，是对难以用金刚石车刀进行超精密车削的材料如工程陶瓷、光学玻璃、半导体基片等进行超...
一种nm级超精密镜面磨削的微进给工作台
【摘 要】
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一种ｎｍ级超精密镜面磨削的微进给工作台张飞虎，张春河，王平，韩荣久（哈尔滨工业大学）（中国科学院长春光学精密机械研究所）用超微细粒度的超硬磨料砂轮进行超精密镜面磨削加工，是对难以用
【机 构】
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哈尔滨工业大学,中国科学院长春光学精密机械研究所
【出 处】
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仪器仪表学报
【发表日期】
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1996年S1期
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