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本文通过对电感耦合高频放电管中电磁场分布的数学推导，阐明了高频放电等离子体的产生机理，并给出放电管中等离子体的物理图象和有关特征参量
电感耦合高频放电等离子体的产生机理及其物理图象
【摘 要】
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本文通过对电感耦合高频放电管中电磁场分布的数学推导，阐明了高频放电等离子体的产生机理，并给出放电管中等离子体的物理图象和有关特征参量
【机 构】
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安康师专物理系
【出 处】
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渭南师专学报
【发表日期】
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1998年05期
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