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讨论了如何确定及消除光学轮廓仪的系统误差，进而测定超光滑光学表面粗糙度的方法及结果。在Ｚｙｇｏ Ｍａｘｉｍ ３Ｄ５７００ 表面轮廓仪上使用２－５ ×和２０ ×Ｍｉｒａｕ 物镜测量ｒｍｓ 在０－３ｎｍ 左右的超光滑硅片，通过对每个取样区域数据１６ 次相位平均，再对多个取样区域高度数据平均，消除了仪器的系统误差，使超光滑光学表面粗糙度得到精确测量。并使用其它光学轮廓仪对样品做了验证测量。作为比较，在同样条件下测量了０－８ｎｍ 左右的光滑硅片。