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本文设计了一种基于双法布里－珀罗干涉仪，采用计算机实时控制处理，以轻拍式探针为传感器的新型纳米测量系统，描述了系统的工作原理，详细进行了系统的理论分析。提出了通过测量双法布里－珀罗干涉仪透射光强基波幅值差或基波等幅值过零时间间隔的方法进行纳米测量的理论基础，分析了轻拍式探针的振动模型，给出了检测探针振幅变化的新方法及理论依据。