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准确测定光学薄膜的激光损伤阈值可以衡量光学薄膜的抗激光损伤能力，测定损伤阈值的关键是准确地判定损伤的发生与否。建立了He—Ne散射光检测光学薄膜激光损伤阈值系统。通过测量同一样品点的He—Ne散射光能量变化来判断薄膜表面发生的损伤，并对制备的类金刚石薄膜与HfO2／SiO2反射膜进行了闽值测试。与等离子体闪光法的阂值测试结果进行比较，具有较好的一致性。分析表明：He—Ne散射光测试系统能有效地判断出激光诱导损伤，易于实现在线检测。