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通过对小尺寸石英晶体产品镀膜工序下片过程的研究,设计开发一种改善镀膜工序晶片吸附夹具的负压下片工装及方法,有效改善了晶片吸附在镀膜夹具上的问题,减少了晶片表面的颗粒杂质,消除了下片过程中手工反复敲击夹具的不良手法,保证了水晶片加工成产品时的品质.
改善镀膜工序晶片吸附夹具的负压下片工装及方法的应用
【摘 要】
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通过对小尺寸石英晶体产品镀膜工序下片过程的研究,设计开发一种改善镀膜工序晶片吸附夹具的负压下片工装及方法,有效改善了晶片吸附在镀膜夹具上的问题,减少了晶片表面的颗粒杂质,消除了下片过程中手工反复敲击夹具的不良手法,保证了水晶片加工成产品时的品质.
【机 构】
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南京中电熊猫晶体科技有限公司,江苏南京 210038
【出 处】
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中国科技纵横
【发表日期】
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2021年21期
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