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一种新型的，以压电陶瓷条为驱动、硅为屏蔽和感应电极的微型电场传感器。此种传感器利用了新型的电场感应模式，采用微加工技术制造，使其具备体积小、重量轻、功耗低、便于与其它器件集成等特点，而且制作工艺简单，成本较低。本文阐述了此种传感器的工作原理，并通过计算机模拟验证了可行性，同时描述了新型传感器的结构设计和加工工艺过程。实验数据表明，新型电场传感器的分辨率达到250V／m。