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微电子机械系统(MEMS)技术的兴起及其在现代信息社会中的广泛应用,推动了能实现高深宽比三维微细加工的LIGA及准LIGA技术的迅速发展.介绍了LIGA相关技术的发展状况并举例说明了它们在射频、光学等方面上的一些应用.
LIGA相关技术及应用
【摘 要】
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微电子机械系统(MEMS)技术的兴起及其在现代信息社会中的广泛应用,推动了能实现高深宽比三维微细加工的LIGA及准LIGA技术的迅速发展.介绍了LIGA相关技术的发展状况并举例说明
【机 构】
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上海交通大学,西安电子科技大学
【出 处】
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传感器技术
【发表日期】
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2003年3期
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