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涂层工艺技术领域中的企业对真空技术有着极高的要求，本文介绍的Oerlikon Leybold真空技术公司最新研发生产的新型涡轮分子泵便能满足极端苛刻要求，它能够在10年时间里无需维修，转速高达36000r／min。
免维修的新型涡轮分子泵——新型涡轮分子泵可以80000h不维修
【摘 要】
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涂层工艺技术领域中的企业对真空技术有着极高的要求，本文介绍的Oerlikon Leybold真空技术公司最新研发生产的新型涡轮分子泵便能满足极端苛刻要求，它能够在10年时间里无需维修
【机 构】
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PROCESS
【出 处】
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流程工业
【发表日期】
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2011年19期
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